Optika dynamického skenovacieho optického systému: 1 ks šošovka s malým zaostrovaním, 1-2 ks zaostrovacích šošoviek, galvanické zrkadlo. Celá optická šošovka tvorí funkciu rozširovania lúča, zaostrovania a vychýlenia lúča a skenovania.
Rozpínacia časť je negatívna šošovka, t. j. šošovka s malým zaostrovaním, ktorá realizuje rozpínanie lúča a pohyblivé priblíženie, zatiaľ čo zaostrovacia šošovka sa skladá zo skupiny pozitívnych šošoviek. Galvové zrkadlo je zrkadlo v galvanometrickom systéme.
(1) Optimalizácia dizajnu šošovky: Optimálny pomer priemeru k hrúbke
(2) Prah poškodenia šošovky: > 30 J/cm2 10 ns
(3) Ultranízkoabsorpčný náter, miera absorpcie: <20 ppm
(4) Pomer hrúbky galvanometra k priemeru: 1:35
(5) Presnosť povrchu šošovky: <= λ/5
Post-objektív
Maximálna vstupná zornica (mm) | Priemer optiky 1 (mm) | Priemer optiky 2 (mm) | Priemer optiky 3 (mm) | Skenovacie pole (mm) | Jasná clona skenera (mm) | Vlnová dĺžka |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 μm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030 – 1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorové zrkadlo
Popis dielu | Priemer (mm) | Hrúbka (mm) | Materiál | Náter |
Kremíkový reflektor | 25,4 | 3 | Kremík | HR@10.6um,Uhol záujmu: 45° |
Kremíkový reflektor | 30 | 4 | Kremík | HR@10.6um,Uhol záujmu: 45° |
Vláknový reflektor | 25,4 | 6,35 | Tavený oxid kremičitý | HR@1030-1090nm, uhol záberu: 45° |
Vláknový reflektor | 30 | 5 | Tavený oxid kremičitý | HR@1030-1090nm, uhol záberu: 45° |
Vláknový reflektor | 50 | 10 | Tavený oxid kremičitý | HR@1030-1090nm, uhol záberu: 45° |
532 Reflektor | 25,4 | 6 | Tavený oxid kremičitý | HR@515-540nm/532nm, uhol záberu: 45° |
532 Reflektor | 25,4 | 6,35 | Tavený oxid kremičitý | HR@515-540nm/532nm, uhol záberu: 45° |
532 Reflektor | 30 | 5 | Tavený oxid kremičitý | HR@515-540nm/532nm, uhol záberu: 45° |
532 Reflektor | 50 | 10 | Tavený oxid kremičitý | HR@515-540nm/532nm, uhol záberu: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 6 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 355 nm a 433 nm, uhol záberu: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 6,35 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 355 nm a 433 nm, uhol záberu: 45° |
355 Reflektor | 25,4 | 10 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 355 nm a 433 nm, uhol záberu: 45° |
355 Reflektor | 30 | 5 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 355 nm a 433 nm, uhol záberu: 45° |
Galvo zrkadlo
Popis dielu | Maximálna vstupná zornica (mm) | Materiál | Náter | Vlnová dĺžka |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V - X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm Z-Y | 30 | Kremík | MMR@10.6um | 10,6 μm |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V - X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm Z-Y | 30 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 1030 – 1090 nm | 1030 – 1090 nm |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V - X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm Z-Y | 30 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 532 nm | 532 nm |
55 mm D * 35 mm Š * 3,5 mm V - X 62 mm D * 43 mm Š * 3,5 mm Z-Y | 30 | Tavený oxid kremičitý | HR pri 355 nm | 355 nm |
Ochranná šošovka
Priemer (mm) | Hrúbka (mm) | Materiál | Náter |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |